一种光学基片包装盒的制作方法

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  • 2021-02-24 19:22:07
  • 鱼爪商标网


[0001]
实用新型涉及半导体包装技术领域,尤其涉及一种光学基片包装盒


背景技术:

[0002]
匀胶铬版是在特种玻璃基片上镀上一层铬膜、再在铬膜上镀上一层感光胶,主要用作集成电路制造过程中的光掩膜材料。
[0003]
光掩膜铬版传送、运输以及装取片要求如下:
[0004]
1)光掩膜铬版是易碎物,不得有甩、碰,运输过程基片不晃动。
[0005]
2)运输及装取片时不得有颗粒物进入包装盒内,这点尤为重要,细小颗粒物会附着在匀胶铬版表面形成污染源,大颗粒物则极有可能会破坏匀胶铬版表面的铬膜和感光胶层。
[0006]
cn 203740375 u为申请人前期设计的一种玻璃基片包装盒,上盖和下盖的密封方式为:通过在上盖上设置卡扣,两边卡扣先依靠自身弹性撑开再扣合在下盖上,最后再上中间缠一圈胶带。这种密封方式浪费胶带,导致密封成本增加;且密封解封过程较为繁琐,胶带使用不当,极易污染光掩膜铬版。此外,cn 203740375 u需要额外设置内支架以固定光学基片,否则难保证光掩膜铬版在运输过程中不晃动。


技术实现要素:

[0007]
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种密封方式简单且密封效果好,并且确保光学基片运输过程中不被污染和损伤的光学基片包装盒。
[0008]
为解决上述技术问题,本实用新型采用以下技术方案
[0009]
一种光学基片包装盒,包括上盖和上端开口的盒体,所述上盖的底端面上开设有环形榫槽,所述盒体的顶端面上设有与环形榫槽配合的榫部;或,所述盒体的顶端面上开设有环形榫槽,所述上盖的底端面上设有与环形榫槽配合的榫部;所述上盖和盒体通过榫槽配合形成具有密闭内腔的光学基片包装盒;
[0010]
所述上盖的侧面开设有连通外界与包装盒内腔的缺口,所述上盖上设有打开或关闭所述缺口的封盖;
[0011]
所述盒体相对的两个侧面上开设有多个一一对应第一卡槽,所述第一卡槽沿盒体的高度方向延伸,彼此对应的两个第一卡槽之间形成光学基片的卡设空间,多个第一卡槽沿盒体的长度或宽度方向间隔布置。
[0012]
由于采用榫卯配合的嵌入式结构将上盖和盒体卡合形成密闭的包装盒,在运输过程中外界的空气不会进入包装盒内,从而保证了盒内的洁净。嵌入式结构密封效果好,无需额外加缠密封胶带,从而节约了密封成本,也避免了外加胶带带来的污染。
[0013]
在打开上盖取片时,打开封盖,使空气进入包装盒内,从而上盖在开启过程中,盒内与盒外气压平衡,以避免由于盒内负压导致外界空气以气流方式冲击光学基片,造成盒内匀胶铬版污染。
[0014]
上盖在上提过程中,盒内与盒外气压平衡,不会形成负压,外界的空气不会压入盒内,从而不会造成盒内匀胶铬版污染。
[0015]
第一卡槽用以挡住基片的左右两端,较好地防止了基片左右移动,并且不会对基片产生擦伤,因而无需设置内支架,成本进一步降低。第一卡槽优选u型槽。
[0016]
作为上述技术方案的进一步改进:
[0017]
为避免运输过程中光学基片和上盖顶部及盒体底部摩擦产生擦伤,所述上盖顶部内壁面上设有用于与多个光学基片的顶面抵接的第一缓冲件,所述盒体底部内壁面上设有用于与多个光学基片的底面抵接的第二缓冲件。
[0018]
所述第一缓冲件和第二缓冲件均沿包装盒的长度或宽度方向延伸,所述第一缓冲件和第二缓冲件均垂直于光学基片布置。
[0019]
所述第一缓冲件为聚丙烯制成的软管,所述上盖上开设有与软管配合的第二卡槽。第一缓冲件材质为高密度聚丙烯,不会产生颗粒物,软管形状的第一缓冲件在包装时能紧紧纵向压住基片,使基片在运输过程不出现晃动。
[0020]
所述第二缓冲件为由聚丙烯制成的半圆形支撑垫。半圆形支撑垫优选设置两条,有效地减小了光学基片与包装盒的接触面积,从而减小了由于摩擦而产生颗粒的可能。
[0021]
所述上盖和盒体的材质为高纯度丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(abs),abs材料致密性好,不易产生颗粒物。
[0022]
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:
[0023]
本实用新型的光学基片包装盒,密封方式简单且密封效果好,并且能够确保光学基片运输过程中不被污染和损伤。
附图说明
[0024]
图1为本实用新型实施例的光学基片包装盒的结构示意图
[0025]
图2为上盖的主视结构示意图。
[0026]
图3为上盖的俯视透视示意图。
[0027]
图4为盒体的主视结构示意图。
[0028]
图5为盒体的俯视透视示意图。
[0029]
图例说明:1、上盖;2、盒体;3、环形榫槽;4、榫部;5、封盖;6、第一卡槽;7、第一缓冲件;8、第二缓冲件;9、第二卡槽。
具体实施方式
[0030]
以下结合具体优选的实施例对本实用新型作进一步描述,但并不因此而限制本实用新型的保护范围。
[0031]
实施例:
[0032]
如图1所示,本实施例的光学基片包装盒,包括上盖1和上端开口的盒体2,上盖1和盒体2均为一体成型件,且均采用浅黄色,能够避免匀胶铬版在盒内曝光,包装盒材质为高纯度abs材料,致密性好,不易产生颗粒物。如图5所示,盒体2的顶端面上开设有环形榫槽3,如图3所示,上盖1的底端面上设有与环形榫槽3配合的榫部4;上盖1和盒体2通过榫槽配合形成具有密闭内腔的光学基片包装盒,由于采用嵌入式结构,在运输过程中外界的空气不
会进入包装盒内,从而保证了盒内的洁净。
[0033]
如图2和3所示,上盖1或盒体2的侧面开设有连通外界与包装盒内腔的缺口,以及设有打开或关闭缺口的封盖5,在打开上盖取片时,打开封盖5使空气进入包装盒内,从而上盖在开启过程中,盒内与盒外气压平衡,以避免由于负压导致外界空气以气流方式冲击光学基片,造成盒内匀胶铬版污染。
[0034]
如图4和5所示,盒体2相对的两个侧面上开设有多个一一对应第一卡槽6,第一卡槽6沿盒体2的高度方向延伸,彼此对应的两个第一卡槽6之间形成光学基片的卡设空间,多个第一卡槽6沿盒体2的宽度方向间隔布置。本实施例中,第一卡槽6为与光学基片10配合的u型槽,用以挡住基片的左右两端,较好地防止了基片左右移动,并且不会对基片产生擦伤。
[0035]
本实施例中,上盖1顶部内壁面上设有用于与多个光学基片的顶面抵接的第一缓冲件7,盒体2底部内壁面上设有用于与多个光学基片的底面抵接的第二缓冲件8。
[0036]
本实施例中,第一缓冲件7和第二缓冲件8均沿包装盒的宽度方向延伸,从而第一缓冲件7和第二缓冲件8均垂直于光学基片10布置。
[0037]
其中,第一缓冲件7为聚丙烯制成的软管,上盖1上开设有与软管配合的第二卡槽9。软管材质优选为高密度聚丙烯,不会产生颗粒物,在包装时能紧紧纵向压住基片,使基片在运输过程不出现晃动。
[0038]
第二缓冲件8为由聚丙烯制成的支撑垫,本实施例中支撑垫设置两条,有效地减小了基板与包装盒的接触面积,从而减小了由于摩擦而产生颗粒的可能。
[0039]
以上所述,仅是本申请的较佳实施例,并非对本申请做任何形式的限制,虽然本申请以较佳实施例揭示如上,然而并非用以限制本申请,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本申请技术方案的范围内,利用上述揭示的技术内容做出些许的变动或修饰均等同于等效实施案例,均属于技术方案范围内。

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